Az ion implantáció alapfolyamatai, hőhatás és kristályosodás = The fundamental processes of ion implantation, thermal effects, crystallization
  • Metaadatok
Tartalom: http://real.mtak.hu/24/
Archívum: REAL
Gyűjtemény: Status = Published
Subject = Q Science / természettudomány: QC Physics / fizika
Type = Monograph
Cím:
Az ion implantáció alapfolyamatai, hőhatás és kristályosodás = The fundamental processes of ion implantation, thermal effects, crystallization
Létrehozó:
Dézsi, István
Dátum:
2007
Téma:
QC Physics / fizika
Tartalmi leírás:
Típus:
Monograph
PeerReviewed
Formátum:
application/pdf
Azonosító:
Dézsi, István (2007) Az ion implantáció alapfolyamatai, hőhatás és kristályosodás = The fundamental processes of ion implantation, thermal effects, crystallization. Project Report. OTKA.
Kapcsolat: