Kereső
Bejelentkezés
Kapcsolat
Betűméret: Súgó
Characterization of polysilicon thin films using in situ and ex situ spectroscopic ellipsometry |
Tartalom: | http://real.mtak.hu/5953/ |
---|---|
Archívum: | REAL |
Gyűjtemény: |
Status = Published
Subject = Q Science / természettudomány: QC Physics / fizika Type = Thesis |
Cím: |
Characterization of polysilicon thin films
using in situ and ex situ spectroscopic
ellipsometry
|
Létrehozó: |
Petrik, Péter
|
Dátum: |
1999
|
Téma: |
QC Physics / fizika
|
Nyelv: |
angol
|
Típus: |
Thesis
NonPeerReviewed
info:eu-repo/semantics/other
|
Formátum: |
text
|
Azonosító: |
Petrik, Péter (1999) Characterization of polysilicon thin films using in situ and ex situ spectroscopic ellipsometry. PhD thesis, Budapesti Műszaki Egyetem ; MTA MFA.
|
Kapcsolat: |