Ugrás a tartalomhoz

Characterization of polysilicon thin films using in situ and ex situ spectroscopic ellipsometry

  • Metaadatok
Tartalom: http://real-phd.mtak.hu/20/
Archívum: REAL-PhD
Gyűjtemény: Status = Defended
Subject = Q Science / természettudomány: QC Physics / fizika
Type = Thesis
University = BME ; MTA MFA
Cím:
Characterization of polysilicon thin films using in situ and ex situ spectroscopic ellipsometry
Létrehozó:
Petrik, Péter
Kiadó:
BME ; MTA MFA
Dátum:
1999
Téma:
QC Physics
Típus:
Thesis
NonPeerReviewed
Formátum:
text
Azonosító:
Petrik, Péter (1999) Characterization of polysilicon thin films using in situ and ex situ spectroscopic ellipsometry. PhD thesis, BME ; MTA MFA.
Kapcsolat: