Kereső
Bejelentkezés
Kapcsolat
Betűméret: Súgó
Tailored voltage waveform capacitively coupled plasmas in electronegative gases: frequency dependence of asymmetry effects |
Tartalom: | http://real.mtak.hu/51422/ |
---|---|
Archívum: | REAL |
Gyűjtemény: |
Status = Published
Subject = Q Science / természettudomány: QC Physics / fizika: QC04 Electricity. Magnetism. Electromagnetism / villamosság, mágnesesség, elektromágnessesség Subject = Q Science / természettudomány: QC Physics / fizika: QC05 Physical nature of matter / részecskefizika Type = Article |
Cím: |
Tailored voltage waveform capacitively coupled plasmas in electronegative gases: frequency dependence of asymmetry effects
|
Létrehozó: |
Schüngel, Edmund
Korolov, Ihor
Bruneau, B.
Derzsi, Aranka
Johnson, E.
O’Connell, D.
Gans, T.
Booth, J-P.
Donkó, Zoltán
Schulze, Julian
|
Dátum: |
2016-05-31
|
Téma: |
QC04 Electricity. Magnetism. Electromagnetism / villamosság, mágnesesség, elektromágnessesség
QC05 Physical nature of matter / részecskefizika
|
Tartalmi leírás: | |
Típus: |
Article
PeerReviewed
|
Formátum: |
text
|
Azonosító: |
Schüngel, Edmund and Korolov, Ihor and Bruneau, B. and Derzsi, Aranka and Johnson, E. and O’Connell, D. and Gans, T. and Booth, J-P. and Donkó, Zoltán and Schulze, Julian (2016) Tailored voltage waveform capacitively coupled plasmas in electronegative gases: frequency dependence of asymmetry effects. JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 49. p. 265203. ISSN 0022-3727
|
Kapcsolat: |
https://doi.org/10.1088/0022-3727/49/26/265203
|